本發(fā)明涉及光學(xué)平臺(tái),具體為一種氣墊式精密隔振光學(xué)平臺(tái)。、光學(xué)平臺(tái)在精密光學(xué)測(cè)量、半導(dǎo)體制造、激光加工、微納操作等高端工業(yè)與科研領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,其隔振性能與水平精度是保障相關(guān)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可靠及加工質(zhì)量合格的核心指標(biāo)之一,在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中,環(huán)境振動(dòng)及平臺(tái)初始安裝偏差易導(dǎo)致平臺(tái)產(chǎn)生微幅振...