本發(fā)明涉及超精密儀器設(shè)計(jì),特別是涉及一種光學(xué)系統(tǒng)軸向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的有限元設(shè)計(jì)方法、設(shè)備及介質(zhì)。、在光學(xué)系統(tǒng)中,軸向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是實(shí)現(xiàn)納米級精密調(diào)焦的關(guān)鍵執(zhí)行部件。目前,基于柔性單元和壓電陶瓷驅(qū)動器的軸向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)因其無摩擦、無間隙、高分辨率和高剛度的特性,已成為高端光學(xué)系統(tǒng)鏡片調(diào)節(jié)的主流技術(shù)方案。然...