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本文的描述大體上涉及用于光刻設(shè)備中的圖案化裝置的運(yùn)動(dòng)控制的系統(tǒng)和方法。、光刻（例如投影）設(shè)備可以例如被用于制造集成電路（ic）。在這種情況下，圖案化裝置（例如掩模）可以包含或提供與ic的個(gè)體層相對(duì)應(yīng)的圖案（“設(shè)計(jì)布局”），并且通過(guò)諸如通過(guò)圖案化裝置上的圖案輻照（irradiate）目標(biāo)部分...

本發(fā)明涉及帶表面保護(hù)膜的光學(xué)膜以及光學(xué)膜的檢查方法。、現(xiàn)有技術(shù)、以液晶顯示裝置及電致發(fā)光（el）顯示裝置（例如有機(jī)el顯示裝置）為代表的圖像顯示裝置正在迅速普及。在圖像顯示裝置中，為了實(shí)現(xiàn)圖像顯示、提高圖像顯示的性能，一般使用偏光部件、相位差部件等光學(xué)部件（例如參照專利文獻(xiàn)）。、近年來(lái)，正...

本公開總體上涉及用于制造顯示設(shè)備的設(shè)備和方法，并且更具體地涉及用于制造包含一個(gè)或多個(gè)抗反射涂層的顯示設(shè)備的方法。、玻璃板可以用于顯示應(yīng)用，例如液晶顯示器（lcd）、電泳顯示器（epd）、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（oled）和等離子體顯示面板（pdp）。眾所周知在顯示應(yīng)用中會(huì)提供顯示設(shè)備。然而，...

本公開總體上涉及光刻過(guò)程建模，并且涉及使用機(jī)器學(xué)習(xí)（ml）模型基于過(guò)程模型生成掩模預(yù)測(cè)的方法。、光刻投影設(shè)備可以用在例如集成電路（ic）的制造中。圖案形成裝置（例如，掩模）可以包括或提供與ic的單層（“設(shè)計(jì)布局”）相對(duì)應(yīng)的圖案，并且可以通過(guò)諸如通過(guò)圖案形成裝置上的圖案照射目標(biāo)部分的方法，將...

本申請(qǐng)涉及鈮酸鋰調(diào)制器，特別涉及一種集成光存儲(chǔ)的硅基薄膜鈮酸鋰調(diào)制器及其制造方法。、高速、低功耗的電光調(diào)制器是光通信、光互連及微波光子系統(tǒng)的核心器件。tfln（thin-film?lithium?niobate，薄膜鈮酸鋰）平臺(tái)因其優(yōu)異的電光系數(shù)、低光學(xué)損耗和覆蓋.-.μm的寬透明窗口，被...

本發(fā)明涉及調(diào)光膜，尤其涉及一種多功能透明顯示和深色調(diào)光的復(fù)合薄膜及其制備方法。、光致變色材料在智能窗、信息存儲(chǔ)與防偽等領(lǐng)域展現(xiàn)巨大潛力，其中，將光致變色分子（如螺噁嗪）集成于聚合物基質(zhì)中制備調(diào)光膜是主流技術(shù)路線。然而，傳統(tǒng)的物理共混技術(shù)存在三大固有技術(shù)瓶頸，嚴(yán)重制約其實(shí)際應(yīng)用與發(fā)展。、首先...

本發(fā)明涉及調(diào)光膜，尤其涉及一種反式調(diào)光膜材料的制備方法及其應(yīng)用。、傳統(tǒng)取向材料，尤其是含有大量脂肪鏈或易氧化基團(tuán)的聚合物，在長(zhǎng)期暴露于紫外線、熱量及氧氣環(huán)境下，易發(fā)生自由基鏈?zhǔn)窖趸到夥磻?yīng)。這一過(guò)程導(dǎo)致材料主鏈斷裂或形成發(fā)色團(tuán)，表現(xiàn)為材料黃變、脆化及取向功能衰減。例如，廣泛使用的聚酰亞胺材...

本發(fā)明涉及光學(xué)成像，特別涉及一種變焦投影光學(xué)系統(tǒng)及投影設(shè)備。、近年來(lái)隨著投影技術(shù)的發(fā)展，投影儀已經(jīng)廣泛應(yīng)用于家用、教育、辦公等領(lǐng)域，市面上常見的投影設(shè)備都是直接投射式來(lái)實(shí)現(xiàn)。變焦投影儀因其在不改變投射距離的情況下，可進(jìn)行連續(xù)的畫面大小調(diào)整，備受青睞。、市面上常見的投影儀通常設(shè)置有可變光圈以...

本發(fā)明涉及微納光子學(xué)及超構(gòu)材料，具體是一種基于旋轉(zhuǎn)變換的手性超表面構(gòu)造法。、手性(chirality)是指物體無(wú)法與其鏡像重合的幾何屬性。具有手性特性的材料被稱之為手性材料。與光相互作用時(shí)，手性材料會(huì)表現(xiàn)出區(qū)別于非手性體系的偏振調(diào)控特性，包括旋光性(控制線偏振光偏振面的旋轉(zhuǎn))和圓二色性(c...

本公開涉及一種光學(xué)組件的驅(qū)動(dòng)裝置及攝像模組。、在光學(xué)組件的驅(qū)動(dòng)裝置領(lǐng)域，通常需要驅(qū)動(dòng)載體進(jìn)行精密直線運(yùn)動(dòng)。為保證運(yùn)動(dòng)精度，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)方向與載體的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向方向需要保持嚴(yán)格平行。、現(xiàn)有技術(shù)中，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等多采用分步、獨(dú)立的方式安裝于底座上。由于零部件加工公差及多次裝配累積誤差...

本公開涉及光纖通信，更具體地，涉及一種基于類電磁誘導(dǎo)透明效應(yīng)的薄膜鈮酸鋰電光調(diào)制器及方法。、高效電光調(diào)制器是現(xiàn)代光通信網(wǎng)絡(luò)的核心。傳統(tǒng)基于馬赫-曾德爾干涉儀的電光調(diào)制器雖然性能穩(wěn)定，但通常需要厘米級(jí)的波導(dǎo)長(zhǎng)度以達(dá)到足夠的相位調(diào)制深度，不利于光子芯片的小型化和高密度集成。微環(huán)諧振器調(diào)制器利用...

本發(fā)明涉及光學(xué)鏡頭，特別涉及一種小型鏡頭和ar眼鏡。、智能穿戴設(shè)備快速發(fā)展，市面上涌現(xiàn)出一系列帶有攝像功能的ai智能眼鏡、ar智能眼鏡。為了迎合智能眼鏡輕量化的趨勢(shì)，攝像鏡頭需要做得更小更薄。傳統(tǒng)攝像鏡頭為了更高的畫質(zhì)往往采用更長(zhǎng)的光學(xué)總長(zhǎng)，這嚴(yán)重限制了其在智能穿戴設(shè)備上的使用。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思...

本申請(qǐng)屬于光學(xué)顯微成像，具體涉及一種顯微物鏡、顯微成像系統(tǒng)及受激輻射損耗顯微鏡。、目前，生命科學(xué)研究中顯微成像研究大約％需要使用光學(xué)顯微鏡，生命科學(xué)的進(jìn)步伴隨著光學(xué)顯微鏡的發(fā)展。、普通光學(xué)顯微鏡受空間分辨率的限制，從而影響了生物學(xué)家們對(duì)亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)的精細(xì)研究，而受激輻射損耗?(?stimul...

本發(fā)明涉及微納光學(xué)與偏振探測(cè)，具體涉及一種基于儀器矩陣的大視場(chǎng)偏振探測(cè)超透鏡。、技術(shù)背景、偏振作為光的基本物理屬性之一，描述了光波電場(chǎng)矢量的振動(dòng)方向，能夠揭示表面粗糙度和材料屬性等傳統(tǒng)強(qiáng)度成像無(wú)法捕捉的目標(biāo)固有物理屬性。由于斯托克斯（stokes）矢量可以完整的描述光波的強(qiáng)度以及其全偏振狀...

本發(fā)明涉及光學(xué)，具體為防窺膜及其制備方法。、隨著智能手機(jī)、平板電腦、筆記本電腦等便攜式電子設(shè)備的普及，越來(lái)越多的人在公共場(chǎng)所使用這些設(shè)備進(jìn)行工作或娛樂(lè)。然而，隨之而來(lái)的一個(gè)問(wèn)題是隱私泄露。尤其是在公共交通、咖啡館等場(chǎng)所，屏幕內(nèi)容可能被周圍的人偷窺，造成信息泄露。因此，防窺膜作為一種有效的屏...

本申請(qǐng)涉及光學(xué)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種光學(xué)系統(tǒng)以及電子設(shè)備。、隨著手機(jī)影像進(jìn)入大底主攝（采用較大尺寸的感光傳感器）和潛望長(zhǎng)焦時(shí)代，機(jī)身厚度和重量成為制約其進(jìn)一步升級(jí)的關(guān)鍵。手機(jī)內(nèi)部空間有限，難以容納更大尺寸的傳感器和更復(fù)雜的光學(xué)結(jié)構(gòu)，計(jì)算攝影的優(yōu)化空間也逐漸縮小，邊際效益遞減，行業(yè)亟需新的...

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光刻材料，尤其涉及一種金屬基雜化型光刻膠及其制備方法。、極紫外（euv）光刻膠是先進(jìn)半導(dǎo)體制造中的重要材料，由于euv光源的輻射具有更大的光子能量，從而使euv光刻膠曝光反應(yīng)轉(zhuǎn)為以輻射機(jī)制為主導(dǎo)。目前euv光源功率較低，光子密度低，光子散粒噪聲的影響較大，會(huì)產(chǎn)生更多的隨機(jī)性...

本發(fā)明涉及一種對(duì)光刻機(jī)照明系統(tǒng)復(fù)眼勻光的補(bǔ)償方法，屬于光刻機(jī)照明勻光。、在光刻機(jī)照明系統(tǒng)中，均勻照明是保證加工出的線條線寬均勻一致的關(guān)鍵技術(shù)。為了確保線條線寬滿足光刻機(jī)的設(shè)計(jì)指標(biāo)，常采用勻光元件如積分棒、衍射光學(xué)元件或透鏡陣列等方式應(yīng)用于照明系統(tǒng)。照明光場(chǎng)積分均勻性是一項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)，因?yàn)楣杵?..

本申請(qǐng)實(shí)施例涉及光學(xué)測(cè)試，更具體地，本申請(qǐng)實(shí)施例涉及一種測(cè)試鏡頭和近眼顯示測(cè)試裝置。、近年來(lái)，近眼顯示技術(shù)（如虛擬現(xiàn)實(shí)頭顯、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)眼鏡等）在消費(fèi)電子、醫(yī)療、教育及工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用迅速發(fā)展，其顯示效果依賴于光學(xué)鏡頭的成像性能。然而，隨著近眼顯示器件分辨率、視場(chǎng)角（field?of?view,...

：本發(fā)明專利涉及一種光纖熔接機(jī)，特別涉及一種具備端面軸向識(shí)別功能的保偏光纖熔接機(jī)。、：、保偏光纖熔接機(jī)在保偏光纖的軸向識(shí)別上主要分為側(cè)面軸向識(shí)別和端面軸向識(shí)別兩種方案，側(cè)面軸向識(shí)別方案通過(guò)保偏光纖柱面效應(yīng)引起的光強(qiáng)分布曲線的變化來(lái)識(shí)別光纖軸向，側(cè)面軸向識(shí)別鏡頭與纖芯對(duì)準(zhǔn)鏡頭可復(fù)用，...