本發(fā)明涉及一種用于制造電構(gòu)件結(jié)構(gòu)的方法、一種微機(jī)電構(gòu)件結(jié)構(gòu)、一種微機(jī)電裝置和一種微機(jī)電揚(yáng)聲器。、由現(xiàn)有技術(shù)中已知微機(jī)電結(jié)構(gòu),也被理解為mems結(jié)構(gòu),以及用于微機(jī)電結(jié)構(gòu)的制造的方法。、de?????a公開(kāi)了一種用于制造層序列微機(jī)電結(jié)構(gòu)的方法和一種相應(yīng)的具有微機(jī)電結(jié)構(gòu)的電子結(jié)構(gòu)元件。該方法包括...