本申請屬于半導(dǎo)體檢測,尤其涉及一種調(diào)節(jié)裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備。、光學(xué)檢測是半導(dǎo)體加工過程中的常用步驟。、光學(xué)檢測過程中,需要調(diào)整光學(xué)元件的位置,以使光學(xué)元件保持在光學(xué)設(shè)計(jì)位置,從而使得光源發(fā)出的光線通過光學(xué)元件反射或折射后能夠在指定位置處形成光斑。、光學(xué)元件的位置通常通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整,為...