本發(fā)明屬于激光加工及光學(xué)掃描,尤其涉及一種高頻振動反射鏡模組。、在激光加工與光學(xué)掃描領(lǐng)域,反射鏡的轉(zhuǎn)動控制是實(shí)現(xiàn)光束精準(zhǔn)操控的核心技術(shù)。目前主流方案依賴電機(jī)驅(qū)動機(jī)械結(jié)構(gòu),例如采用皮帶、齒輪等傳動部件將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動傳遞至反射鏡。此類技術(shù)廣泛應(yīng)用于激光打標(biāo)機(jī)、二氧化碳激光切割設(shè)備中,通過調(diào)節(jié)...