本發(fā)明涉及晶圓領(lǐng)域,具體涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備。、將寸晶圓產(chǎn)品(含鐵環(huán)、藍膜、晶圓)上的鐵環(huán)用同尺寸的塑料環(huán)替換掉,裝配塑料環(huán)時需要旋轉(zhuǎn)壓合,保證藍膜和塑料環(huán)有效貼合。技術(shù)實現(xiàn)思路、本發(fā)明所解決的技術(shù)問題:提供一種設(shè)備的結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)能夠為寸晶圓產(chǎn)品上的鐵環(huán)替換成同尺寸的塑料環(huán)的自動化提供硬件基礎(chǔ)...