本發(fā)明屬于顯微轉(zhuǎn)移對準(zhǔn)的,具體涉及一種實現(xiàn)百納米對準(zhǔn)精度的轉(zhuǎn)移操作裝置及轉(zhuǎn)移對準(zhǔn)方法。、轉(zhuǎn)移操作系統(tǒng)是針對薄膜結(jié)構(gòu)和微納結(jié)構(gòu),例如硅基光子器件、超表面等的精準(zhǔn)定點轉(zhuǎn)移場景,實現(xiàn)高精度的對準(zhǔn)轉(zhuǎn)移功能。現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)移操作系統(tǒng)是基于顯微識別的方式進行對準(zhǔn)轉(zhuǎn)移,即通過設(shè)置目鏡與物鏡構(gòu)成顯微成像系...