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.本新型涉及固體結(jié)構(gòu)超滑領(lǐng)域，尤其涉及一種用于制備超滑滑塊的探針。.長期以來,摩擦和磨損問題,不但與制造業(yè)密切相關(guān),還與能源、環(huán)境和健康直接相關(guān)。據(jù)統(tǒng)計,全世界約三分之一的能源在摩擦過程中被消耗掉,約％的機(jī)器零部件失效都是由磨損造成的。結(jié)構(gòu)超滑是解決摩擦磨損問題的理想方案之一，結(jié)構(gòu)超滑是指...

一種mems熱電堆芯片器件結(jié)構(gòu)及其制備方法.本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)制造領(lǐng)域，具體涉及一種mems熱電堆芯片器件結(jié)構(gòu)及其制備方法。.熱電堆紅外探測器廣泛的應(yīng)用于需要溫度以及輻射測量的領(lǐng)域，如在國防、醫(yī)療、家電、工控、汽車、公共安全等等。熱電堆探測器的工作原理基于塞貝克(seebec...

.本發(fā)明屬于薄膜材料，具體地說，涉及一種類金剛石保護(hù)薄膜及其制備方法。.微型化一直是微納電子器件發(fā)展的重點方向。一方面，電子器件正常工作對散熱和絕緣有相應(yīng)的要求；另一方面，器件材料自身導(dǎo)熱系數(shù)低(半導(dǎo)體、陶瓷材料導(dǎo)熱系數(shù)一般僅.～w·m?·k?)、器件封閉或半封閉、器件布置密集等因...

.本發(fā)明涉及mems工藝，特別涉及一種高精度多晶低電阻的制造方法。.mems熱電堆傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)對溫度的精確感知，廣泛用于非接觸的測溫領(lǐng)域，比如高溫、食品、醫(yī)療測溫等。但是由于測試體溫時，溫度變化極小，所以熱電堆輸出信號微弱，為了增大信號輸出且降低噪音干擾，研究人員通常使用低值多晶...

一種基于tsv的晶圓級mems氣體傳感器陣列、制備方法及應(yīng)用.本發(fā)明屬于氣體檢測，更具體地，涉及一種基于tsv(硅通孔技術(shù)，throughsiliconvia)的晶圓級mems氣體傳感器陣列、制備方法及應(yīng)用。.氣體傳感器作為人類嗅覺的延伸，是感知空氣及環(huán)境不可或缺的核心...

mems封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，更為具體地，涉及一種mems封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法。.在半導(dǎo)體行業(yè)中，汽車電子產(chǎn)品封裝要求可靠性較高，一般要求通過濕敏等級msl(moisturesensitivitylevel)對其封裝，并且其工藝方法要求較為嚴(yán)格，目前封...

一種基于mems技術(shù)的無磁電加熱器的加工方法.本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)，具體涉及一種mems器件的微型加熱器加工方法。.微型加熱器被廣泛應(yīng)用于多種場合，例如微流控芯片、電池、計算機(jī)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備以及光學(xué)設(shè)備。而無磁微型加熱器在量子傳感領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用需求，如應(yīng)用于量子傳感...

.本實用新型涉及微電機(jī)封裝，具體為一種便于拆卸的微電機(jī)封裝結(jié)構(gòu)。.微電機(jī)，全稱“微型電動機(jī)”，是指直徑小于mm或額定功率小于mw的電機(jī)，微電機(jī)常用于控制系統(tǒng)或傳動機(jī)械負(fù)載中，用于實現(xiàn)機(jī)電信號或能量的檢測、解析運算、放大、執(zhí)行或轉(zhuǎn)換等功能，使用較為廣泛。.但是現(xiàn)有技術(shù)中的微電機(jī)的封裝...

.本發(fā)明涉及納米材料領(lǐng)域，尤其涉及一種轉(zhuǎn)移納米結(jié)構(gòu)的方法及其應(yīng)用。.在納米結(jié)構(gòu)中，傳播表面等離子體與局域等離子體共振模的強(qiáng)耦合引起的色散關(guān)系使得傳感特性的增強(qiáng)主要與納米結(jié)構(gòu)的位移或彎曲有關(guān)。研究表明，在金屬層表面形成適當(dāng)周期和深度的結(jié)構(gòu)，可以提高表面等離子體共振效應(yīng)。這種靈敏度高、無標(biāo)簽、...

一種mems芯片及其制作方法、mems麥克風(fēng).本發(fā)明屬于電聲器件，特別是涉及一種mems芯片及其制作方法、mems麥克風(fēng)。.mems（micro?electro?mechanicalsystem,微機(jī)電系統(tǒng)）電容式麥克風(fēng)以其靈敏度高、功耗低、頻率響應(yīng)平坦等諸多優(yōu)點而備受...

一種基于濃硼摻雜的mems感壓薄膜的制備方法.本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)和真空計量，具體涉及一種基于濃硼摻雜的mems感壓薄膜的制備方法。.基于微機(jī)電系統(tǒng)(mems,micro?electro?mechanicalsystem)技術(shù)制作的新型電容薄膜真空計，具有體積小、重量輕、...

四六面體納米顆粒.美國政府支持聲明.本發(fā)明是在由能源部(departmentofenergy)授予的授權(quán)號de?sc?下由政府支持進(jìn)行的。政府擁有本發(fā)明的某些權(quán)利。.具有高指數(shù)小平面的納米結(jié)構(gòu)在催化中極為重要，但用于規(guī)?；a(chǎn)所述納米結(jié)構(gòu)的方式有限(zhang等人,《今日納米(nano...

.本發(fā)明屬于半導(dǎo)體封裝，具體涉及一種非制冷探測器的晶圓級封裝方法、非制冷探測器及其制備方法。.紅外焦平面探測器可分為制冷型和非制冷型兩大類。制冷型紅外焦平面探測器的優(yōu)勢在于靈敏度高，能夠分辨更細(xì)微的溫度差別，探測距離遠(yuǎn)，但是其結(jié)構(gòu)復(fù)雜且成本高昂，主要應(yīng)用于高端軍事裝備；非制冷紅外焦...

.本申請涉及復(fù)合材料，特別是涉及一種表面結(jié)構(gòu)、表面結(jié)構(gòu)制備方法以及醫(yī)療設(shè)備。.現(xiàn)在市面上很多產(chǎn)品都會用到人造革，例如背包、手機(jī)殼、汽車座椅、沙發(fā)墊等。人造革的普及帶給人們舒適、時尚的用戶體驗。但是，日常的頻繁使用難以避免的都會使得許多污漬附著在皮革表面，影響美觀。并且，對于醫(yī)用產(chǎn)品...

一種多層mems結(jié)構(gòu).本實用新型屬于微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件加工，涉及一種多層mems結(jié)構(gòu)。.微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems，簡稱mems)器件具有微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)的特點，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚...

基于梳齒局部氧化的mems高低梳齒結(jié)構(gòu)的制作方法.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝制造領(lǐng)域，尤其是基于梳齒局部氧化的mems高低梳齒結(jié)構(gòu)的制作方法。.mems(microelectromechanicalsystems，微機(jī)電系統(tǒng))是一個制造微小器件并可同時集成多種物理場作用的新興領(lǐng)域。...

.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種垂直芯片電子封裝及其制造方法。.電子封裝是將一個或多個電子元器件芯片相互電連接，然后封裝在一個保護(hù)結(jié)構(gòu)中，其目的是為電子芯片提供電連接、機(jī)械保護(hù)、化學(xué)腐蝕保護(hù)等。此保護(hù)結(jié)構(gòu)的基板用于承載芯片和導(dǎo)入/導(dǎo)出電源和電信號。封裝技術(shù)的發(fā)展趨勢，就是要封裝外形...

.本發(fā)明涉及結(jié)構(gòu)超滑的，具體涉及一種超滑滑塊的制備方法。.長期以來,摩擦和磨損問題,不但與制造業(yè)密切相關(guān),還與能源、環(huán)境和健康直接相關(guān)。據(jù)統(tǒng)計,全世界約三分之一的能源在摩擦過程中被消耗掉,約％的機(jī)器零部件失效都是由磨損造成的。結(jié)構(gòu)超滑是解決摩擦磨損問題的理想方案之一，結(jié)構(gòu)超滑是指兩...

mems器件.本實用新型涉及微機(jī)電系統(tǒng)(micro?electro?mechanicalsystem,mems)，具體涉及一種mems器件。.在mems器件中，通常包括由電路板和位于電路板上的殼體組成的封裝結(jié)構(gòu)，殼體和電路板之間形成空腔，具有特定功能的mems芯片和與me...

一種mems風(fēng)速風(fēng)向傳感器的封裝方法.本發(fā)明涉及mems器件封裝，尤其是一種mems風(fēng)速風(fēng)向傳感器的封裝方法。.mems器件的封裝是mems設(shè)計與制造中的一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。設(shè)計mems器件的封裝往往比設(shè)計普通集成電路的封裝更加復(fù)雜，這是因為它常常有一些額外的設(shè)計約束，以及滿足工...