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微觀裝置的制造及其處理技術
  • 一種自帶聚光結構的微機電紅外光源及其制備方法與流程
    .本發(fā)明屬于微機電紅外光源領域,涉及一種自帶聚光結構的微機電紅外光源及其制備方法。.微機電系統(tǒng)紅外光源是基于黑體輻射技術的一種低成本、高輻射率的紅外光源發(fā)射芯片,同時還具備低功耗、小尺寸和高調(diào)制速率等優(yōu)點,可作為核心器件廣泛應用于高端紅外氣體傳感器領域。.在紅外氣體傳感器應用中,其氣體探測...
  • 連續(xù)離子液相制備納米薄膜的自動沉積方法及自動化設備與流程
    .本發(fā)明涉及納米材料制備,尤其涉及連續(xù)離子液相制備納米薄膜的自動沉積方法及自動化設備。.近年來,隨著化石燃料的大量消耗,隨之而來的環(huán)境問題和能源問題越來越嚴峻,尋找清潔、可再生的能源迫在眉睫。氫能,作為二次能源,具有清潔、高效、安全、可貯存、可運輸?shù)戎T多優(yōu)點,已普遍被人們認為是一種...
  • 人工突觸器件和人工突觸器件的制備方法與流程
    .本發(fā)明實施例涉及仿生人工突觸器件以及類生物感知系統(tǒng),尤其涉及一種人工突觸器件和人工突觸器件的制備方法。.人工智能技術的發(fā)展為人機交互、感知系統(tǒng)及機器人假肢的控制等帶來了革命性變化,同時對復雜數(shù)據(jù)的處理和人機交互界面提出了新的要求。不同于目前基于軟件系統(tǒng)和馮·諾依曼構架實現(xiàn)的神經(jīng)網(wǎng)...
  • 氣密性射頻MEMS器件的制作方法及氣密性射頻MEMS器件與流程
    本發(fā)明涉及氣密性射頻mems器件,尤其是涉及一種氣密性射頻mems器件的制作方法及氣密性射頻mems器件。射頻微機電系統(tǒng)(射頻mems)是mems技術的重要應用領域之一,也是二十世紀九十年代以來mems領域的研究熱點。射頻微機電系統(tǒng)器件具有高隔離度、低損耗、高線性度、低功耗、寬頻帶...
  • 致動器及包含致動器的芯片的制作方法
    【相關申請案的交叉引用】本申請案主張2019年11月7日申請的美國臨時專利申請案第62/931,926號的優(yōu)先權,其整體經(jīng)由引用被并入本文。本發(fā)明關于一種直線致動器,特別關于一種微機電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystem,mems)直線致動器。me...
  • 具有多自由度移動的微機電致動裝置的制作方法
    本發(fā)明系關于一種致動裝置,特別關于一種微機電致動裝置,可達到多自由度移動之功效。以微型攝影機,如手機上的攝影裝置而言,微機電致動器有潛力可以取代音圈馬達來達到例如影像穩(wěn)定及自動對焦,然而仍有一些問題有待解決,如在表面黏著制程時以及操作時產(chǎn)生的熱應力所造成的電容偏移(offset)、增加電—...
  • 一種新型MEMS傳感器敏感結構的封裝結構及粘接方法與流程
    本發(fā)明涉及mems傳感器的組裝,具體地涉及一種新型mems傳感器敏感結構的封裝結構及粘接方法。mems傳感器具有可靠性高和壽命長、功耗低、數(shù)字化、響應快和成本低等特點,因此mems傳感器被廣泛應用于航天、航空、軍事、消費電子等領域。隨著mems傳感器的快速發(fā)展,高精度、響應快、動態(tài)...
  • 微機電結構及其機械性能的調(diào)控方法與流程
    本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng),特別是涉及一種微機電結構及其機械性能的調(diào)控方法。微機電系統(tǒng)(mems)是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的,融合了微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。mems是一項革命性的新技術,...
  • 用于建立晶片連接的方法與流程
    本發(fā)明涉及一種在第一晶片和第二晶片之間建立晶片連接的方法。本發(fā)明還涉及一種mems傳感器。雖然本發(fā)明一般能應用在任意mems傳感器上,但本發(fā)明針對mems壓力傳感器來說明。已知的封裝技術需要使壓力傳感器的壓力敏感部分、即壓力傳感器膜片借助專門的彈簧結構與傳感器的其余部分機械脫耦并由此使其不...
  • 形成包括褶皺的MEMS振膜的方法與流程
    相關申請的交叉引用本申請要求于2018年10月5日提交的標題為“methodsofformingmemsdiaphragmsincludingcorrugations(形成包括褶皺的mems振膜的方法)”的美國臨時申請no.62/742,164的優(yōu)先權,該美國臨時申請的全部內(nèi)容以引用方式并入本文中...
  • 用于制造MEMS傳感器的方法與流程
    本發(fā)明涉及一種用于制造mems傳感器的方法。此外,本發(fā)明還涉及一種mems傳感器。雖然本發(fā)明一般能夠用于任意的mems傳感器,但是本發(fā)明是參照mems壓力傳感器來說明的。已知的壓力傳感器具有壓敏層、例如膜片,該壓敏層必須與環(huán)境接觸,以便確保通向到這個壓敏層的壓力入口。這個壓力入口以已知的方...
  • 一種帶有硅通孔的硅MEMS微結構的加工工藝的制作方法
    本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)(mems)制造,特別涉及一種帶有硅通孔的硅mems微結構的加工工藝。mems器件是近二十年來發(fā)展起來的一種新型器件,以其成本低、體積小、功耗低、可大規(guī)模生產(chǎn)等特點在國防、慣性導航、地震探測、工業(yè)、醫(yī)療、自動化以及消費電子等眾多領域中獲得了廣泛的應用。mems器...
  • 一種掩膜刻蝕制備亞波長周期性陣列的方法與流程
    本發(fā)明屬于微納米材料光學領域,具體涉及一種玻璃表面修飾掩膜進行刻蝕亞波長周期性陣列的方法。顯示產(chǎn)品在當代信息化社會已是不可或缺的重要一環(huán),作為信息的輸出顯示工具,顯示器件參與著人眼和機器交互的重要環(huán)節(jié)。顯示器件的表面反光是一直光學玻璃普遍存在的問題,表面反光是由于空氣折射率與玻璃折射率之間...
  • 一種大尺寸光學陀螺楔形腔及其制備方法和應用與流程
    本發(fā)明屬于光學陀螺的si基光電子器件制備,更具體地,涉及一種大尺寸光學陀螺楔形腔及其制備方法和應用。陀螺儀作為測量載體角加速度和姿態(tài)的重要傳感器件,是慣性導航系統(tǒng)的重要核心部件,被廣泛的應用于航天航海、制導控制、隧道施工和汽車制造等各種領域,其發(fā)展對工業(yè)領域重大科技計劃的研究具有重...
  • MEMS異形芯片的切割方法與流程
    本發(fā)明屬于mems微細加工,尤其涉及一種mems(micro-electro-mechanicalsystem,微機電系統(tǒng))異形芯片的切割方法。mems芯片的分離通常采用劃片工藝實現(xiàn)。目前在mems晶圓劃片領域,主要有砂輪劃片和激光劃片。其中,砂輪切割劃片是目前應用最為廣泛的切割技...
  • MEMS傳感器的制作方法
    本發(fā)明涉及半導體器件,尤其涉及一種mems傳感器。氣密性封裝是mems領域常見的封裝需求形式。mems器件如加速度傳感器、壓力傳感器、角速度傳感器等內(nèi)部有可動部件,需要為可動部件提供氣密性空腔,以保證可動部件在空腔內(nèi)部有較小的阻尼和靜摩擦力。mems器件如非制冷紅外焦平面探測器內(nèi)部...
  • MEMS傳感器及其制作方法與流程
    本發(fā)明涉及半導體器件,尤其涉及一種mems傳感器及其制作方法。氣密性封裝是mems領域常見的封裝需求形式。mems器件如加速度傳感器、壓力傳感器、角速度傳感器等內(nèi)部有可動部件,需要為可動部件提供氣密性空腔,以保證可動部件在空腔內(nèi)部有較小的阻尼和靜摩擦力。mems器件如非制冷紅外焦平...
  • 超聲換能器腔室中的吸氣材料的制備技術以及結構的制作方法
    相關申請的交叉引用本申請根據(jù)35u.s.c.§119(e)要求于2018年9月28日提交的代理人案卷號為b1348.70103us00并且題為“fabricationtechniquesandstructuresforgetteringmaterialsinultrasonictransducer...
  • 一種微納復合結構的超疏水超疏油表面的制備方法與流程
    本發(fā)明屬于微納加工,具體涉及一種微納復合結構的超疏水超疏油的制備方法。超疏水超疏油表面作為一種特殊的潤濕性狀態(tài),由于其在防腐、自清潔、水油分離、減阻等方面有巨大的應用潛力而獲得了廣泛的關注。目前制備超疏水的研究比較多,主要的制備方法大多是進行低表面能的化學修飾和基于wenzel或c...
  • 一種微懸臂梁的制備方法與流程
    本發(fā)明涉及半導體器件,特別涉及一種微懸臂梁的制備方法。mems技術已經(jīng)交叉融合了多種學科,涉及到微電子學、機械學、材料學、力學、聲學、光學、電子信息等學科。作為一項未來微技術集中發(fā)展的方向,是微電子和精密機械加工技術結合的產(chǎn)物。正在向微型化、低成本、輕量化、低能耗、高可靠性、高靈敏...
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