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本公開大體涉及一種氧化鎂密封腔的制備方法。目前，超燃沖壓發(fā)動機燃燒室溫度一般在2000℃左右，航空發(fā)動機燃燒室溫度超過1700℃，高速飛行器超音速飛行時，表面最高溫度超過1500℃，燃氣輪機燃燒溫度普遍在1350℃以上。在這些極端高溫、高壓環(huán)境下對傳感器性能要求也非常嚴格，其中，決定傳感器...

本公開涉及一種堆疊結(jié)構(gòu)和一種方法，且涉及一種具有減少的毛刺的堆疊結(jié)構(gòu)和一種用于制造堆疊結(jié)構(gòu)的方法。微機電系統(tǒng)(mems)技術(shù)廣泛用于便攜式通信設(shè)備，尤其用于智能電話。mems封裝結(jié)構(gòu)可為電子結(jié)構(gòu)提供基礎(chǔ)保護功能。此外，為改進信號噪聲比性能，進一步需要mems封裝結(jié)構(gòu)以對環(huán)境電磁干擾提供屏蔽...

本發(fā)明的實施例涉及微機電系統(tǒng)及其制造方法。最近已經(jīng)開發(fā)了微機電系統(tǒng)(mems)器件。mems器件包括使用半導(dǎo)體技術(shù)制造以形成機械部件和電氣部件的器件。mems器件被實現(xiàn)在壓力傳感器、麥克風(fēng)、致動器、鏡相器、加熱器和/或打印機噴嘴中。盡管用于形成mems器件的現(xiàn)有器件和方法通常已經(jīng)足以滿足其...

本發(fā)明涉及的是一種條紋狀結(jié)構(gòu)的電熱式扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器，屬于mems應(yīng)用。mems驅(qū)動方式主要分為靜電、電磁、電熱和壓電四種方式，其中靜電和電磁被常用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動方式中。電熱通常應(yīng)用于垂直位移，較難運用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動，即使應(yīng)用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動，其結(jié)構(gòu)也非常復(fù)雜。例如，專利文獻1、一種微電機系統(tǒng)扭...

本發(fā)明涉及的是一種電熱式mems扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器，屬于mems應(yīng)用。mems驅(qū)動方式主要分為靜電、電磁、電熱和壓電四種方式，其中靜電和電磁被常用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動方式中。電熱通常應(yīng)用于垂直位移，較難運用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動，即使應(yīng)用于扭轉(zhuǎn)態(tài)驅(qū)動，其結(jié)構(gòu)也非常復(fù)雜。例如，專利文獻1、一種微電機系統(tǒng)扭轉(zhuǎn)鏡...

本實用新型涉及微電機領(lǐng)域，尤其涉及的是一種具有熱保護功能的微電機后蓋。微電機，全稱“微型電動機”，常用于控制系統(tǒng)或傳動機械負載中，用于實現(xiàn)機電信號或能量的檢測、解析運算、放大、執(zhí)行或轉(zhuǎn)換等功能。現(xiàn)有技術(shù)中，微電機的碳刷在與轉(zhuǎn)子的相對摩擦過程中，往往會造成較高的溫升或過大的電流，很容易導(dǎo)致微...

本實用新型屬于微納加工，具體涉及一種ti納米管。納米技術(shù)興起于20世紀80年代末，具有極大的理論和應(yīng)用價值，納米材料被稱為“21世紀最有前途的材料”，納米材料通常是指在三維空間中至少有一維的尺度處于納米尺度范圍或由它們作為基本單元構(gòu)成具有不同于常規(guī)材料理化性質(zhì)的材料。研究表明，ti...

本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)和量子傳感器的原子氣室制造，更具體地，涉及用于堿金屬直充的原子氣室制作一體化鍵合裝置及方法。微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanicalsystem，mems)原子氣室是芯片級原子器件的“心臟”，mems原子氣室的制作是原子鐘、原子磁力計等器件小...

本發(fā)明涉及微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制備，具體是涉及一種超表面的制作方法。超表面是指一種厚度小于波長的人工層狀材料，超表面可視為超材料的二維對應(yīng)。光學(xué)超表面是最常見的一種類型，超表面可以通過表面亞波長的微納結(jié)構(gòu)實現(xiàn)對電磁波的偏振、相位、振幅、頻率、傳播模式等特性的調(diào)控，是一種光學(xué)與納米科技結(jié)合的...

本發(fā)明涉及生物芯片，具體地說，是一種微珠芯片及其垂直沉降制備方法。相比測序技術(shù)而言，高密度生物芯片擁有成本低、檢測位點量大、格式統(tǒng)一、分析快等優(yōu)勢。利用生物芯片技術(shù)，英國、美國均已建立了大規(guī)模人群的基因庫。新冠肺炎疫情背景下，歐洲、美國啟動了對新冠患者的群體基因組檢測，并采用了生物...

本發(fā)明涉及生物芯片，具體地說，是一種微珠芯片及其旋涂制備方法。相比測序技術(shù)而言，高密度生物芯片擁有成本低、檢測位點量大、格式統(tǒng)一、分析快等優(yōu)勢。利用生物芯片技術(shù)，英國、美國均已建立了大規(guī)模人群的基因庫。新冠肺炎疫情背景下，歐洲、美國啟動了對新冠患者的群體基因組檢測，并采用了生物芯片...

本發(fā)明屬于微機電傳感器領(lǐng)域，具體涉及一種mems接觸式開關(guān)及其制備方法。電子開關(guān)在電子和通信領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。相比于晶體管開關(guān)，mems開關(guān)的插入損耗小、隔離度高、線性度好，因此越來越受到人們的關(guān)注。傳統(tǒng)的mems開關(guān)分為接觸式和非接觸式兩種，其驅(qū)動方式通常以靜電驅(qū)動和熱驅(qū)動為主。199...

本發(fā)明屬于航空發(fā)動機領(lǐng)域，具體涉及一種航空用高頻響壓力傳感器芯片。機載航空發(fā)動機配套壓力傳感器長期直接工作于高溫、高振動、壓力瞬變和易腐蝕等特殊環(huán)境下，對壓力傳感器的靜態(tài)性能、動態(tài)性能均提出了非常高的要求。為了解決傳感器在航空領(lǐng)域特殊環(huán)境下的高溫動態(tài)測量、精度漂移、壓力漂移等問題，國內(nèi)外知...

本發(fā)明涉及柔性壓力傳感器，具體是一種柔性壓力傳感器及其制備方法。近年來，隨著人們對智能材料的研究不斷深入，在智能材料領(lǐng)域已經(jīng)取得了很大的進步和發(fā)展，其中，傳感器作為智能材料不可或缺的重要組成部分，在機器人、人機交互和可穿戴電子產(chǎn)品中具有重要應(yīng)用價值。觸覺傳感器是一種廣泛應(yīng)用于各種場...

本發(fā)明實施例涉及半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法。微機電系統(tǒng)(mems)是指展現(xiàn)機械特性(例如具有能夠移動或變形的構(gòu)件)的一類裝置。mems裝置可包含用于感測的機械元件及/或電子器件。微機電系統(tǒng)裝置(例如壓力傳感器、陀螺儀、加速度計、位置傳感器等)廣泛用于許多現(xiàn)代電子裝置中。例如，mems加速度計通...

本發(fā)明涉及mems器件結(jié)構(gòu)刻蝕的補償結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種用于mems傳感器刻蝕的散熱補償微結(jié)構(gòu)。經(jīng)過幾十年的發(fā)展，微機電(micro-electro-mechanicalsystem，mems)傳感器由于小型化、易于集成、成本低等優(yōu)點廣泛應(yīng)用于航空、導(dǎo)彈、消費電子、汽車電子等軍用領(lǐng)域和民用領(lǐng)...

本申請涉及微納米級高度(3d形貌)測量的，特別涉及一種微納米級臺階高度樣板及其制備方法。近年來，先進制造產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)和納米材料科學(xué)領(lǐng)域迅速發(fā)展，微納幾何尺寸的高精度測量需求越來越迫切，尺寸范圍從納米到數(shù)百微米。為了滿足這些需求，諸如錫膏測厚儀、白光干涉儀、激光共聚焦顯微...

相關(guān)申請本申請要求于2018年9月20日提交的美國臨時專利申請62/733,782的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，其全部公開內(nèi)容通過引用合并于本文。本發(fā)明涉及具有檢查系統(tǒng)的微電子機械系統(tǒng)(mems)顯示裝置，該檢查系統(tǒng)檢查mems顯示裝置的像素陣列。顯示設(shè)備近來通常需要大量的像素，例如高清電視(hdtv)...

相關(guān)申請的交叉引用本申請是根據(jù)35u.s.c.§120于2018年9月21日提交的美國專利申請序列no.16/138,091(代理人案卷號為g0766.70249us00和名稱為“3-軸加速度計”)的權(quán)益的連續(xù)申請，其全部內(nèi)容通過引用合并于此。本申請涉及微機電系統(tǒng)(mems)慣性傳感器。一...

本實用新型涉及電子產(chǎn)品，更為具體地，涉及一種mems封裝結(jié)構(gòu)。隨著社會的進步和技術(shù)的發(fā)展，近年來，手機、筆記本電腦等電子產(chǎn)品體積不斷減小，人們對這些便攜電子產(chǎn)品的性能要求也越來越高，從而也要求與之配套的電子零件的體積不斷減小、性能和一致性不斷提高。mems(micro-electr...