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一種mems慣性傳感器芯片模組及其制備方法.本發(fā)明涉及半導體器件，具體涉及一種mems慣性傳感器芯片模組及其制備方法，用于mems陀螺儀、mems加速度計等慣性傳感器芯片的集成裝配。.基于mems技術的慣性傳感器具有重量輕、成本低、體積小、可大批量生產(chǎn)等優(yōu)點，在民用、航天及軍事領域...

.本發(fā)明涉及芯片晶圓級封裝，特別是一種容易受封裝應力影響的微機電系統(tǒng)芯片的晶圓級封裝結(jié)構及其制造工藝。.在集成電路芯片生產(chǎn)過程中，芯片封裝是十分重要的環(huán)節(jié)。由于芯片上的特征尺寸非常微小，金屬觸點難以直接與電路板上的導線連接，需要通過封裝技術將芯片上的觸點與電路板之間建立連接。此外，在實際使...

.本發(fā)明涉及醫(yī)療及半導體微細加工，特別涉及一種超細空心微針芯片的制備方法。.空心微針管在離子發(fā)射源、噴墨打印機、透皮給藥裝置等新型儀器中具有廣泛的應用前景。例如，離子噴射型電推進系統(tǒng)中的工質(zhì)在電場力作用下，離子化后由空心微針管陣列噴出以實現(xiàn)推力，由于產(chǎn)生推力與工質(zhì)噴射流速直接相關，...

.本發(fā)明屬于mems器件與微流控電路封裝及控制系統(tǒng)領域，涉及一種無線微流體控制模塊、微流控芯片及其控制方法。.微流控技術廣泛地應用在醫(yī)療實時檢測和高等院校的生物學以及藥學的研究中。微機電系統(tǒng)(mems，micro-electro-mechanicalsystem)微泵、微閥等芯片是在微流...

微流體裝置可在微觀層面探索流體的化學和物理性質(zhì)。僅舉幾例，這些裝置可用于研究應用、醫(yī)學應用和法醫(yī)學應用，以使用與原本用于全面（full-scale）分析裝置或系統(tǒng)的量相比極少量的樣品和\/或與樣品相互作用的試劑評估或分析流體。附圖簡述圖1圖示說明根據(jù)本公開的一種示例性微流體裝置的示意圖；圖2圖示說...

.本實用新型實施例涉及微機電器件制造，尤其涉及一種晶圓級封裝結(jié)構以及器件級封裝結(jié)構。.在電子元件制造發(fā)展過程中，晶圓級封裝逐漸成為技術發(fā)展趨勢，現(xiàn)有的微機電系統(tǒng)(mems)器件的封裝步驟是在切片之前完成，利用傳統(tǒng)的工藝制成的微機電系統(tǒng)器件結(jié)構的真空密封性差，且封裝體積較大。一般的l...

mems熱電堆紅外傳感器及制備方法.本發(fā)明涉及半導體制造領域，特別是涉及一種mems熱電堆紅外傳感器及制備方法。.微機電系統(tǒng)(micro?electro?mechanical?system，mems)技術是指一種可將機械構件、驅(qū)動部件、光學系統(tǒng)、電控系統(tǒng)集成為一個整體的微型系統(tǒng)，它...

.本發(fā)明屬于mems生物傳感器，具體涉及一種用于神經(jīng)信號檢測的高密度多模態(tài)神經(jīng)微電極陣列的制備與集成方法，該芯片是通過mems微加工和微組裝技術在soi襯底上實現(xiàn)神經(jīng)微電極陣列的制備與集成。.大腦的功能，如感知，運動控制，學習和記憶，產(chǎn)生于分布在多個大腦區(qū)域的神經(jīng)元集體的協(xié)同激活過...

.本發(fā)明涉及一種微機電傳聲器以及一種用于制造微機電傳聲器的方法。.微機電傳聲器或mems(微機電系統(tǒng))傳聲器可裝備多種物件，例如移動電話和個人數(shù)字助理。對微機電傳聲器的需求一直在增加。此外，業(yè)界試圖制造具有更高效率及更小整體尺寸的傳聲器。但是，傳聲器尺寸的減小會影響其性能。.一種mems傳...

一種mems濕壓集成傳感器及制備方法.本發(fā)明涉及射頻微電子機械系統(tǒng)（rfmems），具體涉及一種mems濕壓集成傳感器及制備方法。.濕度和壓力傳感器廣泛用于汽車電子、自動控制、航天航空、生物醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測等領域，是產(chǎn)業(yè)界常用的傳感器。隨著mems技術的發(fā)展，利用mems微...

.本發(fā)明涉及mems器件制造領域，特別涉及種低激活溫度高性能吸氣薄膜。.在高端的半導體器件傳感器中，如芯片mems器件，需要封裝在真空環(huán)境下工作，而且mems器件的性能可以得到很大的改善。這是因為mems器件含有機械運動部件，如果真空環(huán)境不好，部件在運動過程中會受到氣體的阻尼，導致器件要消...

.本申請涉及半導體制造，特別是涉及一種傳感器電氣組件。.傳感器是檢測各種環(huán)境參數(shù)的重要敏感器件，傳感器中的電氣組件大體上包括微機電系統(tǒng)(micro?electro?mechanicsystem，mems)的傳感器芯片和asic(applicationspecificinte...

mens芯片制造方法.本申請涉及一種芯片制造方法，具體涉及一種mens芯片制造方法。.微機電系統(tǒng)（mems,micro?electro?mechanicalsystem），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。.微機電系統(tǒng)是在微電子技術（半...

.本發(fā)明屬于納米材料制備領域，具體涉及一種一維有序結(jié)構的金屬氧化物納米纖維薄膜材料的制備方法。.纖維對大家來說是十分熟悉的，如日常生活中作為服裝材料用的羊毛、蠶絲、亞麻、棉花等都是天然纖維，世紀化學纖維工業(yè)的出現(xiàn)為人類又提供了各種各樣的合成纖維、人造纖維、金屬纖維、半導體纖維和陶瓷纖維等。...

.本發(fā)明涉及一種基于聚焦離子束刻蝕的加工正型結(jié)構的方法及應用，屬于微納米制造。.聚焦離子束(fib)是一種微納米加工技術，其基本原理與掃描電子顯微鏡(sem)類似，采用離子源發(fā)射的離子束經(jīng)過加速聚焦后作為入射束，高能量的離子與固體表面原子碰撞的過程中可以將固體原子濺射剝離。它在圖形...

雙mems芯片封裝結(jié)構和雙mems芯片封裝方法.本發(fā)明涉及麥克風封裝，具體而言，涉及一種雙mems芯片封裝結(jié)構和雙mems芯片封裝方法。.隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展，麥克風在消費領域已經(jīng)廣泛應用于各種電子產(chǎn)品中，其中硅麥克風由于尺寸較小，穩(wěn)定性強等特點，已經(jīng)廣泛應用在移動終端...

.本發(fā)明屬于微納米機器人，具體涉及一種磁性微納米機器人及其制備方法和應用。.微納米機器人指的是尺度在微納米級別(幾納米至幾百微米)的小型機器人，其在解決分子尺寸器件的組裝和利用問題方面具有突出的優(yōu)勢，已經(jīng)成為一個快速發(fā)展的跨學科領域?；谖⒓{米機器人尺寸小，可以進行三維控制運動的優(yōu)...

一種基于視覺定位技術的mems摩阻傳感器自動封裝設備.本實用新型涉及微機電系統(tǒng)中的mems傳感器封裝，具體涉及一種基于視覺定位技術的mems摩阻傳感器自動封裝設備。.mems摩阻傳感器主要用于測量飛行器表面的摩擦阻力，進而確定飛行器表面摩擦阻力的大小和分布情況，對飛行器設計...

.本申請涉及微機電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems,mems)器件，具體涉及一種慣性傳感器及其制備方法。.常規(guī)的mems慣性傳感器有種加工方案，一種是外延多晶硅，一種是soi技術制備可動結(jié)構。外延多晶硅，是需要先沉積犧牲層，再沉積多晶硅種子層后...

pct國內(nèi)申請，說明書已公開。...