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.本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制備，具體涉及通過將硅納米粒子以及碳化硅納米粒子誘導(dǎo)沉積成任意二維圖案化的、具有高縱橫比的微納米線以及多納米孔微納米結(jié)構(gòu)，從而獲得具有高響應(yīng)度的光電器件。.隨著電子器件的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體材料在光電探測(cè)器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域有著很重要的應(yīng)用。黑硅這種材料在寬光譜范圍內(nèi)...

.本發(fā)明屬于芯片散熱，涉及一種mems系統(tǒng)中對(duì)芯片進(jìn)行散熱的方法及對(duì)芯片溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)精確測(cè)量的裝置，具體涉及一種自散熱芯片及其測(cè)溫裝置和方法。.板載芯片是mems加工制造的主要形式，芯片及電子元器件在正常工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生一定的熱量，若不及時(shí)排散，芯片結(jié)溫會(huì)升高，甚至引起器件或系統(tǒng)失效。...

一種多量程集成的復(fù)合膜片式mems壓力傳感器.本發(fā)明屬于傳感器測(cè)量，具體地說，涉及一種多量程集成的復(fù)合膜片式mems壓力傳感器。.隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，由于第二代半導(dǎo)體材料單晶硅的壓阻效應(yīng)和其良好的機(jī)械結(jié)構(gòu)特性，使得利用微機(jī)電工藝技術(shù)制成的mems硅壓阻式壓力傳感器逐漸成為...

一種兩懸梁mems陣列式陶瓷懸梁微熱板.本發(fā)明涉及傳感器，具體涉及一種兩懸梁mems陣列式陶瓷懸梁微熱板。.隨著mems技術(shù)和微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，微熱板因?yàn)槠潢嚵谢谱鞴に?、體積小，功耗低并且易于其他材料結(jié)合的巨大優(yōu)勢(shì)得到廣泛應(yīng)用，比如微型氣體傳感器，微加速計(jì)、微氣壓計(jì)以...

.本實(shí)用新型涉及微電子，特別涉及一種超聲波飛行傳感器的封裝結(jié)構(gòu)及測(cè)距電子裝置。.微超聲波換能器(micromachinedultrasonictransducer，mut)可用于實(shí)現(xiàn)聲波信號(hào)和電信號(hào)的轉(zhuǎn)換，其在各種場(chǎng)景中被大量應(yīng)用。具體的，可以將微超聲波換能器和相應(yīng)的芯片封裝在...

一種微電子機(jī)械系統(tǒng)mems加速度計(jì).本發(fā)明涉及mems加速度計(jì)，尤其涉及一種微電子機(jī)械系統(tǒng)mems加速度計(jì)。.加速度計(jì)是一種能夠測(cè)量物體加速度的慣性傳感器，mems是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的技術(shù)，mems加速度計(jì)就是使用msme技術(shù)制造的加速度計(jì)，mems加速度計(jì)...

.本發(fā)明涉及金屬薄膜，尤其涉及一種液態(tài)金屬均勻微納米薄膜的制備方法及其應(yīng)用。.金屬薄膜由于穩(wěn)定性好、性能優(yōu)越等特點(diǎn)，在介電、超導(dǎo)、高阻、鐵電、壓電、熱釋電、電卡、靜電存儲(chǔ)、光電、氣敏等領(lǐng)域，有著巨大的應(yīng)用價(jià)值，也是功能薄膜研究的熱點(diǎn)。.最近幾年來國(guó)內(nèi)外的研究者制備金屬薄膜一般采用諸...

.本發(fā)明涉及微納制造，尤其是一種微納牛級(jí)力計(jì)量器的制造方法。.隨著科技的不斷進(jìn)步，與人類活動(dòng)密切相關(guān)的工業(yè)制造，如醫(yī)療設(shè)備、電子器件以及智能化機(jī)器人等不斷向微觀尺度發(fā)展。微納米級(jí)機(jī)械設(shè)備制造技術(shù)這一核心技術(shù)難題亟待攻克。器件在加工與裝備過程中的受力監(jiān)測(cè)為制造高品質(zhì)設(shè)備提供了有力保障...

基于多通孔硅基板的mems芯片封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法.本發(fā)明屬于芯片封裝，具體涉及基于多通孔的硅基板的溫度和應(yīng)力雙重隔離mems芯片封裝結(jié)構(gòu)及其制備方法。.mems（微機(jī)電系統(tǒng),micro?electro?mechanicalsystem）器件是用三維加工技術(shù)制造微米或納...

.本發(fā)明屬于光學(xué)元件精密加工以及通信、能源等領(lǐng)域，涉及一種基于納米環(huán)形陣列的近紅外帶通濾波器及制備方法。.透射型近紅外濾波器可用于提高熱光伏發(fā)電系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換效率。基于納米圖形陣列的近紅外濾波器(npa?irfilter)具有工作波段范圍大，對(duì)入射和偏振方向不敏感、吸收損耗小，單一通帶等優(yōu)點(diǎn)...

.本公開涉及攝像裝置。.近年來，實(shí)現(xiàn)了將光電轉(zhuǎn)換元件設(shè)置在半導(dǎo)體基板上的層疊型攝像裝置。在層疊型攝像裝置中，能夠利用與半導(dǎo)體基板不同的材料形成光電轉(zhuǎn)換元件的光電轉(zhuǎn)換層。因此，能夠利用與硅等以往的半導(dǎo)體材料不同的無機(jī)材料或者有機(jī)材料形成光電轉(zhuǎn)換層。由此，實(shí)現(xiàn)了在與以往不同的波段具有靈敏度等、...

.本發(fā)明屬于微納米馬達(dá)，具體涉及一種非旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱碗狀雙面神微納米馬達(dá)及其制備方法和應(yīng)用。.微納米馬達(dá)的是一種能夠?qū)h(huán)境中其他形式能量(化學(xué)能、光能、電能、磁能等)轉(zhuǎn)化成自身動(dòng)能的活性微納米器件，在生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境凈化、微納加工等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。微納米馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)行為高度依賴于其...

.本發(fā)明涉及微結(jié)構(gòu)加工，特別是涉及一種實(shí)現(xiàn)高對(duì)中度雙面玻璃微結(jié)構(gòu)陣列的加工方法。.目前，雙面玻璃微透鏡陣列的加工方法主要有超精密磨削加工、超精密磨削與鏡片拼接復(fù)合加工和超精密模壓成形加工。超精密磨削加工：將玻璃毛坯裝夾在機(jī)床主軸上，通過多軸聯(lián)動(dòng)使砂輪在玻璃毛坯的一面上加工出微結(jié)構(gòu)陣...

一種基于電場(chǎng)控制agga納米針陣列成形的制備方法.本發(fā)明屬于納米針制備，具體涉及一種基于電場(chǎng)控制agga納米針陣列成形的制備方法。.納米針作為一維的納米材料，具有獨(dú)特的機(jī)械性、熱穩(wěn)定性、電子傳輸和光子傳輸性、光學(xué)性質(zhì)、光導(dǎo)性和場(chǎng)發(fā)射效應(yīng)等特點(diǎn)，因此具有巨大的應(yīng)用前景。目前為...

.本發(fā)明是涉及一種微機(jī)電麥克風(fēng)，且特別是涉及一種微機(jī)電麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)與制造方法。.麥克風(fēng)基于半導(dǎo)體制造技術(shù)設(shè)計(jì)以減小尺寸。微機(jī)電麥克風(fēng)是用于電子設(shè)備的組件，用于感應(yīng)聲音信號(hào)，例如通信語音。.微機(jī)電麥克風(fēng)感測(cè)聲音信號(hào)的功能基于隔膜，該隔膜響應(yīng)于來自聲音信號(hào)的氣壓變化，其振動(dòng)對(duì)應(yīng)于聲音信號(hào)的頻率...

.本發(fā)明關(guān)于利用析出金屬的凝聚分極作用及/或電磁分極作用的納米構(gòu)造基板，例如，可應(yīng)用于利用局部表面電漿子共振(以下稱為電漿子)的各種裝置的納米構(gòu)造基板。.若使金屬粒子微細(xì)化至小于nm的數(shù)十納米尺寸，則可展現(xiàn)在塊狀金屬中未見的功能。例如，從水溶液還原的金屬微粒子群，即使在水溶液中亦具有強(qiáng)大的...

.本公開涉及半導(dǎo)體，具體涉及半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法。.微機(jī)電系統(tǒng)(mems,micro?electro?mechanicalsystem)，也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。.mems環(huán)境傳感器，例如mems麥克風(fēng)、mems氣壓計(jì)、mem...

一種mems加速度計(jì)低應(yīng)力集成封裝結(jié)構(gòu)及方法.本發(fā)明涉及一種mems加速度計(jì)低應(yīng)力集成封裝結(jié)構(gòu)及方法，屬于芯片封裝。.加速度計(jì)是測(cè)量載體加速度的器件，隨著微機(jī)電系統(tǒng)(mems)技術(shù)的飛速發(fā)展，利用硅半導(dǎo)體等材料優(yōu)良的機(jī)械特性和成熟的半導(dǎo)體微細(xì)加工工藝，可以將慣性儀表的機(jī)械結(jié)...

.本發(fā)明涉及一種通過磁場(chǎng)調(diào)控微納米平板近場(chǎng)輻射傳熱的方法及裝置。.近場(chǎng)輻射換熱在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，如熱光電、熱成像、熱輔助磁記錄、輻射冷卻和熱管理等領(lǐng)域。而在實(shí)際應(yīng)用中如何靈活地調(diào)控近場(chǎng)熱輻射一直是一個(gè)研究的熱點(diǎn)。目前，人們已經(jīng)投入了大量的精力來開發(fā)一種近場(chǎng)熱流的主動(dòng)控制方案，改變物...

.本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)(mems)和集成電路領(lǐng)域，具體涉及到一種混合集成傳感微系統(tǒng)及其單芯片集成制備方法。.自上世紀(jì)年代末以來，微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)的高速發(fā)展使得傳感器逐漸實(shí)現(xiàn)了小型化和低成本，大量mems傳感器被廣泛用于國(guó)防、工業(yè)、航空航天、汽車等領(lǐng)域。近年來，微納加工技術(shù)和集成電路技術(shù)的...