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.本申請涉及半導體，尤其涉及一種微細結構及其加工方法。.在半導體器件，特別是微機電系統(mems：microelectromechanicalsystems)器件中，常常需要有中空結構。有時，中空結構的除了入口和出口外的部分還需要密封；有時，還會需要懸浮在空腔之上的薄膜。.比...

一種mems加速度計的多級抗過載封裝結構及方法.本發(fā)明涉及一種mems加速度計的多級抗過載封裝結構及方法，屬于芯片封裝，可應用于mems加速度計、mems陀螺儀等mems慣性儀表的封裝，用于提高mems慣性儀表的抗高過載能力。.mems加速度計因其具有體積小、功耗低、壽命長...

超薄mems封裝載板及其制作工藝.本發(fā)明涉及電路板制作，具體提供一種超薄mems封裝載板及其制作工藝。.隨著g商業(yè)化的不斷推進和人工智能、物聯網技術的高速發(fā)展，可穿戴設備、智能家居、無人駕駛、智慧城市、智慧醫(yī)療等新興應用領域不斷涌現，對不同類型傳感器的要求越來越多，其中語音...

.本發(fā)明屬于mems傳感器，具體涉及一種用于寬量程壓力傳感器芯片的單片集成制備方法，該芯片是通過mems微加工技術在soi(絕緣體上的硅)襯底上實現壓力傳感器的原位集成。.隨著硅基微加工技術的發(fā)展，硅基壓力傳感器在工業(yè)和商業(yè)應用中得到了很好的發(fā)展和廣泛的應用。近年來，隨著汽車、航空...

法拉第籠刻蝕法大批量制備傾角補償afm探針的方法.本發(fā)明屬于afm探針生產制造，尤其是涉及一種法拉第籠刻蝕法大批量制備傾角補償afm探針的方法。.原子力顯微鏡（afm）是一種常見且重要的檢測微觀結構的設備。其工作原理是當afm探針靠近樣品時，探針與樣品分子或原子之間產生作用...

.本發(fā)明涉及半導體微機電系統領域，尤其涉及一種原子氣室及其制作方法。.原子氣室是眾多量子傳感器件中實現量子態(tài)調控和監(jiān)測的敏感表頭，它將原子蒸氣存儲在透光容器中，構成一個封閉體系，在此體系中，根據不同領域需求利用光、電、材料科學等技術手段對原子蒸氣量子態(tài)進行精確調控與監(jiān)測實現對物理量高精度測...

聚合蛋白石.本發(fā)明涉及一種聚合蛋白石。本發(fā)明涉及一種生產聚合蛋白石的方法和聚合蛋白石的各種用途。.大自然已經向我們展示了功能材料的不可思議的各種示例。蝴蝶翅膀或蛋白石寶石中的結構色特別迷人。使用由單粒徑膠體粒子的高度有序組件組成的合成光子晶體來模擬這種特性，對于一系列新穎和新興的應用來說是有希望的...

一種基于相位檢測原理的mems壓力傳感器及制備方法.本發(fā)明涉及射頻微電子機械系統（rfmems），具體涉及一種基于相位檢測原理的mems壓力傳感器及制備方法。.壓力傳感器能感受壓力信號，并按照一定規(guī)律將壓力信號轉換成易測量的輸出電信號的器件。它廣泛用于汽車電子、自動控制、...

一種mems傳感器設備.本實用新型涉及傳感器設備領域，尤其涉及一種mems傳感器設備。.我國城市軌道交通建設迅速發(fā)展，在各制式軌道交通中地鐵占據了極大比例，但地鐵的全生命周期安全及風險管理遠不及其建設的速度，地鐵隧道在服役過程中所遇到的問題越來越多，使得地鐵的安全程度和生命周期存在...

.本發(fā)明涉及一種用于制造多個傳感器裝置的方法和一種傳感器裝置。.在設置用于測量環(huán)境參數例如壓力、濕度或者用于確定氣體的傳感器中，通常需要與其環(huán)境直接接觸。然而，在這種情況下，例如當傳感器在電子設備例如移動電話或者無人機中使用時，存在對于保護傳感器免受環(huán)境因素例如灰塵或者水的影響的要求。保護...

.本發(fā)明涉及一種微機械傳感器設備和一種對應的制造方法。.雖然也能夠應用任意的微機械結構元件，但是根據微機械壓力傳感器設備來闡述本發(fā)明和其所基于的問題。.deb公開了一種微機械壓力傳感器設備，其具有襯底、安裝在襯底上的電路芯片和模塑封裝，電路芯片包裝在模塑封裝中。模塑封裝在電路芯片的...

本發(fā)明涉及一種MEMS傳感器，所述MEMS傳感器包括襯底和至少三個功能層，所述功能層上下相疊地并且彼此間隔開地與襯底連接，其中，三個功能層中的至少一個功能層以能夠偏移的方式布置。本發(fā)明還涉及一種用于制造MEMS傳感器的方法。雖然本發(fā)明一般能夠用于任意的具有至少三個功能層的MEMS傳感器，但是本發(fā)明...

.本發(fā)明屬于加工領域，具體涉及到一種同步制造納米凹坑陣列的跨尺度微納結構加工方法，以及采用了上述方法制造得到的微納結構。.微納米加工技術的發(fā)展，使制備微納米尺度的生物醫(yī)學傳感器、電化學傳感器、聲學傳感器等器件成為可能，而這些微納尺度的傳感器在醫(yī)學臨床診斷、環(huán)境監(jiān)測、氣體檢測等領域展現了不可...

.本發(fā)明屬于加工領域，具體涉及到一種集成有納米凸起陣列的跨尺度微納結構加工方法，以及通過此方法制造得到的微納結構。.隨著微納米加工技術的發(fā)展，例如電化學傳感器、生物醫(yī)學傳感器、速度傳感器等各種類型的傳感器都向著微納米尺度發(fā)展，而這些微納傳感器在環(huán)境保護、臨床醫(yī)學、工農業(yè)生產等領域得到了廣泛...

.本發(fā)明屬于微機電系統封裝，更具體地，涉及一種微機電系統封裝結構及其制備方法。.在經過了半個多世紀的發(fā)展之后，微機電系統(micro?electro?mechanicalsystem,mems)的市場不斷增長，前景令人鼓舞。封裝是微機電系統工程化的關鍵步驟，是保證其高可靠性的重要...

.本公開涉及一種防水mems(微機電系統)按鈕設備、包括該mems按鈕設備的輸入設備，以及電子裝置。具體地，下文中參考按鈕，該按鈕可以由用戶操作以生成由電子裝置用于其操作的電信號。.眾所周知，用于便攜式電子裝置(諸如智能電話和智能手表)的輸入設備(諸如鍵、按鈕或開關)通常是使得用戶能夠向便...

一種新型懸膜式mems微熱板.本實用新型涉及傳感器，具體涉及一種新型懸膜式mems微熱板。.微熱板作為一種常用的微型加熱平臺，它的基本結構包括懸空介質薄膜以及薄膜電阻線條。當電流通過薄膜電阻線條時，電阻產生的焦耳熱一部分用于加熱微熱板，另一部分以傳導、對流和熱輻射的形式耗散...

一種四懸梁mems陣列式陶瓷懸梁微熱板.本發(fā)明涉及傳感器，具體涉及一種四懸梁mems陣列式陶瓷懸梁微熱板。.隨著mems技術和微電子技術的不斷發(fā)展，微熱板因為其陣列化制作工藝、體積小，功耗低并且易于其他材料結合的巨大優(yōu)勢得到廣泛應用，比如微型氣體傳感器，微加速計、微氣壓計以...

一種封閉膜結構mems紅外光源及其制備方法.本發(fā)明涉及一種紅外光源及其制備方法，特別是涉及一種封閉膜結構mems紅外光源、所述封閉膜結構mems紅外光源的制備方法、采用所述封閉膜結構mems紅外光源的氣體傳感器。.隨著社會經濟和科技的快速發(fā)展，人民的生活水平得到不斷的提升，與此同時...

.本發(fā)明涉及微電子機械系統(mems)的，特別是涉及一種微波集成電路固支梁靜電釋放防護及其能量存儲結構。.靜電釋放(esd)是生活中常見的一種物理現象，其本質就是靜電荷從一個物體向另一個物體的傳輸，在半導體集成電路中，從芯片的制造、封裝、測試到使用的整個周期中，esd現象都有可能對...