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mems器件封裝方法及封裝結(jié)構(gòu).本發(fā)明涉及mems封裝，特別涉及一種mems器件封裝方法及封裝結(jié)構(gòu)。.微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electronic-mechanical-system，mems)封裝技術(shù)是mems研究領(lǐng)域中的一個(gè)重要研究方向，一方面封裝可使mems器件避免受...

本發(fā)明涉及mems濾波器制作，尤其涉及一種mems濾波器制作方法。mems濾波器具有可調(diào)諧范圍大、精細(xì)度高、自由光譜區(qū)寬的特點(diǎn)，在無(wú)線電通訊和光纖通信領(lǐng)域有著較為廣泛的應(yīng)用。濾波器一般包括襯底，襯底上附著有布拉格反射鏡，布拉格反射鏡上附著有兩個(gè)電極。濾波器腔長(zhǎng)調(diào)諧一般是通過(guò)靜電或者...

本發(fā)明涉及一種非拋光制作薄膜傳感器用金屬基底的方法，屬于薄膜傳感器?，F(xiàn)有技術(shù)中，制作薄膜傳感器用金屬基底的方法，是通過(guò)拋光工藝，將金屬基底的表面粗糙度達(dá)到硅片表面的程度。存在的技術(shù)問(wèn)題：為了在金屬基底上制作傳感器并實(shí)現(xiàn)傳感器電路層與金屬基底的絕緣，金屬基底的表面粗糙度通常需要達(dá)到硅...

本發(fā)明涉及濾波器，尤其涉及一種mems濾波器。mems濾波器具有可調(diào)諧范圍大、精細(xì)度高、自由光譜區(qū)寬的特點(diǎn)，在無(wú)線電通訊和光纖通信領(lǐng)域有著較為廣泛的應(yīng)用。濾波器一般包括襯底，襯底上附著有布拉格反射鏡，布拉格反射鏡上附著有兩個(gè)電極。濾波器腔長(zhǎng)調(diào)諧一般是通過(guò)靜電或者微電磁驅(qū)動(dòng)濾波器上層...

本發(fā)明涉及mems器件領(lǐng)域，具體地，涉及柔性mems器件和電子設(shè)備。柔性電子器件可彎曲延展、高效、制造成本較低，柔性電子器件可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景(例如曲面)的形狀進(jìn)行良好的貼附，而不會(huì)改變其所貼附的表面的形狀，還具有小型化與輕量化等方面的優(yōu)勢(shì)。mems(microelectromechanica...

本申請(qǐng)涉及封裝，更具體地說(shuō)，涉及一種mems氣體傳感器芯片的封裝結(jié)構(gòu)。氣體傳感器是一種將某種氣體體積分?jǐn)?shù)轉(zhuǎn)化成對(duì)應(yīng)電信號(hào)的轉(zhuǎn)換器。目前氣體傳感器種類繁多，應(yīng)用范圍廣泛，大致可分為半導(dǎo)體式、電化學(xué)式、催化燃燒式、固體電解質(zhì)式和紅外線式等。其中催化燃燒式氣體傳感器計(jì)量準(zhǔn)確，響應(yīng)快速，壽...

本發(fā)明實(shí)施例涉及微機(jī)電系，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制備方法。在微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)的波陣面校正、空間光調(diào)制、光學(xué)元件對(duì)準(zhǔn)、顯微操縱器、光開(kāi)關(guān)、光衰減器和光學(xué)多路復(fù)用器等方面按照旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)方式不同，主要分為：電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)和靜電驅(qū)動(dòng)等。電磁驅(qū)動(dòng)...

本發(fā)明屬于微納結(jié)構(gòu)制備的一種方法，具體是涉及一種納米孔局部親疏水性修飾的方法。納米孔由于其魯棒性、高通量、穩(wěn)定性、易于操控和低成本的特性，在生物領(lǐng)域(如納米孔基于程序/蛋白質(zhì)測(cè)序)、化學(xué)領(lǐng)域(如生物制藥)、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域(疾病的檢測(cè)預(yù)防)等領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展起到巨大推動(dòng)作用。常見(jiàn)的固態(tài)納米孔...

本申請(qǐng)的實(shí)施例涉及微機(jī)電系統(tǒng)及其制造方法。最近已經(jīng)開(kāi)發(fā)了微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件。mems器件包括使用半導(dǎo)體技術(shù)制造以形成機(jī)械和電氣部件的器件。mems器件被實(shí)現(xiàn)在壓力傳感器、麥克風(fēng)、致動(dòng)器、鏡子、加熱器和/或打印機(jī)噴嘴中。盡管用于形成mems器件的現(xiàn)有器件和方法通常已經(jīng)足以滿足其預(yù)期目...

本實(shí)用新型涉及mems傳感器領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)，涉及一種便于更換的物聯(lián)網(wǎng)用mems傳感器。mems傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景，mems傳感器是采用微電子和微機(jī)械...

本發(fā)明涉及波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換領(lǐng)域，具體涉及一種拓?fù)浣^緣體波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器件。波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換是指將一種波長(zhǎng)的光轉(zhuǎn)換為另外一種波長(zhǎng)的光。波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換能夠?qū)崿F(xiàn)波長(zhǎng)的再利用，便于構(gòu)成任意擴(kuò)展的波分復(fù)用網(wǎng)絡(luò)。因此，波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換技術(shù)在全光通信中具有重要的作用。拓?fù)浣^緣體材料具有寬帶非線性和高穩(wěn)定性，拓?fù)浣^緣體材料在波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換中具有重...

本發(fā)明屬于光譜檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及到一種超寬光譜吸收體、制備方法及其在光譜儀中的應(yīng)用。光照射到物質(zhì)上發(fā)生彈性散射和非彈性散射，彈性散射的散射光是與激發(fā)光波長(zhǎng)相同的成分，非彈性散射的散射光有比激發(fā)光波長(zhǎng)長(zhǎng)的和短的成分，統(tǒng)稱為拉曼效應(yīng)。由于拉曼譜線的數(shù)目，位移的大小，譜線的長(zhǎng)度直接與試樣分子振動(dòng)...

本發(fā)明屬于多功能傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種基于snse2半導(dǎo)體的多功能智能傳感器及其制備方法。無(wú)論是在安防、監(jiān)控、健康等安全領(lǐng)域，還是在智能手機(jī)等移動(dòng)電子領(lǐng)域，多功能傳感器無(wú)疑是當(dāng)前傳感器技術(shù)發(fā)展中一個(gè)全新的研究方向。為了能夠以較高的靈敏度和較小的粒度同時(shí)探測(cè)多種信號(hào)，微型數(shù)字式三端口傳感器...

本發(fā)明涉及一種mems濾波器和制備方法。mems技術(shù)被譽(yù)為21世紀(jì)帶有革命性的高新技術(shù)，其發(fā)展始于20世紀(jì)60年代，mems是英文microelectromechanicalsystem的縮寫(xiě)，即微電子機(jī)械系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)(mems)是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的一種新型多學(xué)科交叉的技術(shù)，該技術(shù)將...

本發(fā)明涉及微波集成器件領(lǐng)域，尤其涉及一種mems硅基腔體環(huán)行器/隔離器電路膜層結(jié)構(gòu)及制備方法。微波鐵氧體環(huán)行器/隔離器是各類雷達(dá)系統(tǒng)的不可缺少的關(guān)鍵器件，它主要用于解決微波系統(tǒng)級(jí)間隔離、阻抗匹配以及天線收發(fā)共用等系列問(wèn)題，能夠極大提高雷達(dá)系統(tǒng)的戰(zhàn)術(shù)性能。環(huán)行器損耗與雷達(dá)系統(tǒng)性能息息相關(guān)，損...

本發(fā)明屬于一種慣性器件，尤其涉及一種mems增強(qiáng)質(zhì)量塊慣性器件及其制備方法。自主導(dǎo)航技術(shù)可以實(shí)時(shí)獲取無(wú)人智能控制系統(tǒng)自身的姿態(tài)信息，包括速度，加速度，角度等，是實(shí)現(xiàn)無(wú)人智能控制系統(tǒng)必不可少的技術(shù)保障，在眾多導(dǎo)航技術(shù)中，慣性導(dǎo)航技術(shù)不需要依賴外界信息即可獲得自身姿態(tài)信息，是自主導(dǎo)航的一種有力...

本發(fā)明屬于慣性器件的微納制造領(lǐng)域，尤其涉及一種mems慣性器件可動(dòng)微結(jié)構(gòu)的制備方法。微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystem，mems)是在微電子制造技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)上隨著精密微型機(jī)械制造技術(shù)的發(fā)展而成長(zhǎng)起來(lái)的，尺寸從微米到毫米級(jí)，集微型傳感器、微型執(zhí)行器、微型傳...

本發(fā)明實(shí)施例涉及微機(jī)電系，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制備方法。在微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)的波陣面校正、空間光調(diào)制、光學(xué)元件對(duì)準(zhǔn)、顯微操縱器、光開(kāi)關(guān)、光衰減器和光學(xué)多路復(fù)用器等方面按照旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)方式不同，主要分為：電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)和靜電驅(qū)動(dòng)等。電磁驅(qū)動(dòng)...

本發(fā)明屬于微電子機(jī)械，具體涉及一種大擠壓膜阻尼扭轉(zhuǎn)式微機(jī)械執(zhí)行器。扭轉(zhuǎn)活動(dòng)極板是許多微機(jī)械執(zhí)行器件的核心部分，這類器件一般采用硅材料制造。圖1是現(xiàn)有扭轉(zhuǎn)式平板微執(zhí)行器原理圖。無(wú)輸入電壓時(shí)，活動(dòng)極板與固定極板平行，且它們的極板間距為g0。施加輸入電壓后，活動(dòng)極板在靜電力矩作用下發(fā)生扭...

相關(guān)申請(qǐng)交叉引用本申請(qǐng)要求于2018年11月13日提交的，標(biāo)題為“包括電子器件的體液收集設(shè)備，及相關(guān)聯(lián)的系統(tǒng)和方法”的美國(guó)專利申請(qǐng)no.62/760,810的權(quán)益，通過(guò)引用其整體并入本文。本技術(shù)涉及體液收集設(shè)備，其包括用于確定所收集的體液，收集設(shè)備，患者，和/或收集體液的其他方面的特性的電子器件。...