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.本發(fā)明涉及微納兩級結(jié)構(gòu)制備，特別是涉及一種基于模板制造兩級微納結(jié)構(gòu)陣列的方法。.微納兩級結(jié)構(gòu)表面在親疏水性、摩擦減阻、抗反射、增透減反等方面有著獨特優(yōu)異性能，因此對微納兩級結(jié)構(gòu)的制造有著巨大的需求。微納兩級結(jié)構(gòu)制造面臨著手段缺乏，工藝穩(wěn)定性差，加工效率低等瓶頸。目前，利用自組裝納...

一種xy宏微運動平臺及其末端反饋方法.本發(fā)明涉及傳送裝置，尤其涉及一種xy宏微運動平臺及其末端反饋方法。.目前，現(xiàn)有的宏微加工設(shè)備由多級結(jié)構(gòu)設(shè)計與組合而成，對于二維xy宏微運動，由于當(dāng)前驅(qū)動部件、傳感器件的安裝要求，在xy宏微結(jié)構(gòu)上存在多級串聯(lián)所造成誤差累積的影響，對操作末...

一種mems電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法.本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)（mems）領(lǐng)域，具體涉及一種mems電容式觸覺壓力傳感器及其制備方法。.觸覺壓力傳感器是一類用于機(jī)器人模仿人類觸覺功能的傳感器，它是仿生學(xué)領(lǐng)域最基本的元器件之一，在機(jī)器人、人機(jī)交互等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。得益于mems...

.本發(fā)明涉及微鏡及制作方法，屬于半導(dǎo)體加工方法；主要涉及適用于mems微鏡制作的晶圓級半導(dǎo)體加工方法，特別針對應(yīng)用在光學(xué)系統(tǒng)領(lǐng)域的光學(xué)mems微鏡裝置。.自年第一款掃描式硅鏡發(fā)布以來，微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems，以下簡稱mems)被廣泛應(yīng)用于光...

本發(fā)明屬于超導(dǎo)量子領(lǐng)域，具體涉及一種超導(dǎo)量子比特空氣橋的除膠方法及其芯片。超導(dǎo)量子比特基于電容和約瑟夫森結(jié)的非線性電感組成的非線性諧振回路。在量子比特壽命、可擴(kuò)展性、易操控性和易加工方面實現(xiàn)了很好的平衡。是公認(rèn)最可能實現(xiàn)通用量子計算機(jī)的方案。因此超導(dǎo)量子計算已經(jīng)成為當(dāng)下世界范圍內(nèi)科技大國競...

優(yōu)先權(quán)要求本申請要求于2019年12月20日提交的意大利專利申請?zhí)?02019000025042的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，其內(nèi)容在法律可允許的最大范圍內(nèi)通過引用整體并入于此。本公開涉及一種用于利用抗反射表面來制造具有可傾斜結(jié)構(gòu)的光學(xué)微機(jī)電設(shè)備的工藝。特別是，下文將談及使用mems(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)制造微鏡。背...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造方法，特別是涉及一種mems三軸各向異性磁電阻(anisotropicmagnetoresistance，amr)磁力傳感器的制造方法。磁電阻(magnetoresistance，mr)效應(yīng)是指物質(zhì)的電阻會隨外加磁場的改變而變化的現(xiàn)象。按照磁電阻的大小和機(jī)理...

本申請涉及mems傳感器，更具體地，涉及麥克風(fēng)、壓力傳感器、骨傳導(dǎo)及其封裝結(jié)構(gòu)?；谖C(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems，mems)制造的傳感器被稱為mems傳感器，mems傳感器由于極小的體積、良好的性能而被受重視。mems傳感器通常包括微機(jī)電結(jié)...

本發(fā)明涉及一種梳齒型元件的制造方法。現(xiàn)今，已知有使用了mems加工技術(shù)的靜電型的微小的振動發(fā)電元件。在專利文獻(xiàn)1中記載有以下的振動發(fā)電元件：固定側(cè)及可動側(cè)的梳齒電極相互嚙合地配置，并且以梳齒電極的插入量發(fā)生變化的方式進(jìn)行振動來進(jìn)行發(fā)電。在專利文獻(xiàn)1所記載的振動發(fā)電元件中，成為具備一對固定側(cè)...

.本文涉及但不限于微納光學(xué)技術(shù)，尤指一種實現(xiàn)頻率調(diào)控的裝置。.回音壁模式光學(xué)微腔具有很高的品質(zhì)因子(q)和很小的模式體積(v)，是研究光與物質(zhì)相互作用的理想平臺。回音壁模式光學(xué)微腔的種類包括：微芯環(huán)腔、微球腔和微泡腔等；上述回音壁模式光學(xué)微腔中，微球腔的品質(zhì)因子最高，且具有制作方便和可集成...

.本申請涉及壓力傳感器，特別是涉及一種壓力傳感器及其制備方法。.微機(jī)電系統(tǒng)的壓力傳感器是一種常用的傳感器，主要由力敏部件和信號轉(zhuǎn)換部件兩部分構(gòu)成，力敏部件用于感應(yīng)壓力，信號轉(zhuǎn)換部件用于將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號。.壓力傳感器一般都需要空腔結(jié)構(gòu)來完成壓力與可測試的電信號之間的轉(zhuǎn)換，因此，...

本實用新型涉及mems制造，具體為一種基于非蒸散型薄膜吸氣劑的mems器件封裝設(shè)備。mems器件具有體積小、成本低等特點，在軍事和民用領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。許多mems器件需要進(jìn)行真空封裝，從而最大程度的減少器件內(nèi)部的殘余氣體，且真空封裝的水平高低很大程度上決定了器件的性能和壽命...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種電子器件及其制備方法。在廣泛應(yīng)用的電子器件中，有些器件需要在一個理想的真空環(huán)境中正常工作，例如具有微機(jī)電系統(tǒng)（micro-electro-mechanicalsystems，mems）的電子器件。此類電子器件通?？刹捎妹芊馇惑w為電子元件提供真空環(huán)境，進(jìn)...

本發(fā)明涉及微納結(jié)構(gòu)制備領(lǐng)域，具體是涉及一種制備蛾眼減反結(jié)構(gòu)的方法。飛蛾眼表面由尺度小于可見光波長的六角形有序排列的微納結(jié)構(gòu)陣列構(gòu)成，使得光波無法辨認(rèn)出該微納結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)層可等效為折射率沿深度方向呈連續(xù)梯度變化的漸變折射率膜層，可減少折射率極具變化所造成的反射現(xiàn)象，對光具有極低的反射系數(shù)，同...

本公開實施例涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)器件及其形成方法。微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electromechanicalsystem，mems)器件包括使用半導(dǎo)體技術(shù)而制作的器件以形成機(jī)械特征及電特征。mems器件可包括具有微米級或亞微米級尺寸的移動部件及用于將移動部件電耦合到電信號的機(jī)構(gòu)，電信號可為引...

本公開涉及被暴露于外部環(huán)境的微機(jī)電系統(tǒng)(mems)傳感器。具有微機(jī)電系統(tǒng)(mems)裸片的許多半導(dǎo)體封裝件包括使mems裸片的傳感器組件暴露于外部環(huán)境的腔體。傳感器組件監(jiān)測在封裝件外部的外部環(huán)境的物理量或者質(zhì)量。這種半導(dǎo)體封裝件通常使用被粘合到基底的剛性帽而形成，mems裸片被定位在該基底...

壓電微機(jī)械超聲換能器(pmut)的制造可以與cmos半導(dǎo)體工藝集成。pmut可以通過mems處理來制造，并且包括處于壓電電容器配置的壓電層，該壓電電容器配置包括在壓電層的一側(cè)上的一個電極和在壓電層的另一側(cè)上的另一電極。例如，pmut可以被配置為發(fā)送器(超聲發(fā)送器)或接收器(超聲接收器)。所...

本發(fā)明涉及微機(jī)電的傳感器，具體地，涉及一種扭轉(zhuǎn)式仿生纖毛流速傳感器裝置。流速和壁面剪應(yīng)力傳感器是流體測量中重要的傳感器，它們被廣泛地用于環(huán)境氣象監(jiān)測、流體傳輸?shù)倪^程控制、飛行器和水中航行體的流場檢測和主動流場控制等。流體運動與人類的生活息息相關(guān)，大到海洋和空氣，小到人類的血...

本公開涉及一種諸如平行板電容式換能器的集成mems換能器的制造方法。mems傳感器通常用于廣泛的應(yīng)用中，諸如汽車、消費、工業(yè)和醫(yī)療以及許多其他應(yīng)用中。mems設(shè)備通常包括懸置物體，該懸置物體通過在制造過程結(jié)束前去除犧牲層來形成。將物體懸置需要良好地控制蝕刻以去除犧牲層。一般地，為了將mems設(shè)備的...

相關(guān)申請本申請是一項非臨時專利申請，要求獲得2018年9月17日提交的申請?zhí)枮?2/732,325的美國臨時專利申請的權(quán)益和優(yōu)先權(quán)，其全部公開內(nèi)容通過引用結(jié)合到本申請中。本申請是一項部分連續(xù)的非臨時專利申請，要求獲得2019年7月23日提交的申請?zhí)枮?6/520,228的美國申請的權(quán)益和優(yōu)先權(quán)，其...